Mikrozug-Prüfmaschine Typ MZP (1)   Mit der Mikrozugprüfmaschine können die für mikrosystemtechnische Systeme wichtigen Daten wie Streckgrenze,  Elastizitätsmodul, Zugfestigkeit und Gleichmaßdehnung sowie Bruch-dehnung ermittelt werden. Mit der Realisierung von Mikrosystemen, in denen Werkstoffe in Mikropumpen, Mikromotoren und Mikroventilen unter-schiedlichen Belastungen ausgesetzt sind, werden Fragen des mechanischen Verhaltens der eingesetzten Werkstoffe für den Ausleger solcher Systeme dringlich. Wegen der durch den LIGA-Prozess herstellungsbedingten besonderen Gefügestruktur und des durch die Miniaturisierung der Bauteile ange-stiegenen Verhältnisses von Oberfläche zu Volumen sind zur Charak-terisierung von Mikrostrukturwerkstoff Versuche an Mikrozugproben nötig. ( weiter ... )