Mikrozug-Prüfmaschine (3)   Der Lastrahmen ist ein System zweigeteilter Federn, die es erlauben, Proben unterschiedlicher Dicken und Durchmesser mit gleicher Krafteinleitungsachse zu untersuchen. Die Lastaufbringung der Zugprüfmaschine wird in untersetzter Form an die eingespannte Probe übertragen. Die Form der Mikrozugprobe mit einem Querschnitt von 0,1 x 0,1mm und einer Messlänge von 0,94 mm zwischen den Markierungen wurde mit der  Methode der Finiten Elemente optimiert. Mit der Mikrozugprüfung können die für den Ausleger wichtigen Daten wie Streckgrenze, Elastizitätsmodul, Zugfestigkeit und Gleichmaßdehnung sowie Bruchdehnung ermittelt werden. Darüber hinaus wird das für die Modellbildung wichtige nichtlineare Verformungsverhalten erfasst. Die ersten Versuche an galvanisch abgeschiedenem LIGA-Nickel haben gezeigt, dass Festigkeitswerte, wie Streckgrenze und Zugfestigkeit, um das dreifache höher liegen als solche von konventionell ermitteltem, schmelzmetallurgisch hergestelltem Nickel. Eine geeignete Wärmebehandlung beseitigt die Stengelstruktur des LIGA-Nickels und beeinflusst die Festigkeitswerte. Dehnungswerte hingegen liegen bei den an LIGA-Nickel ermittelten Werten um das vierfache niedriger als bei konventionell geprüftem und erschmolzenem Nickel. Auch hier beeinflusst die Wärmebehandlung das Dehnungsverhalten. Neben Zugversuchen sind zyklische Versuche im Zugschwellbereich sowie Versuche mit Haltezeiten möglich.